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在石英腔內充入乙炔氣和空氣,在高溫作用下,發生不完全化學反應,析出高純石墨,鍍在工具表面上。
采用不銹鋼鎧裝加熱器外加熱烘箱,加熱均勻,控溫精度高。一鍵啟動,抽真空,充氣,加熱,控溫控壓,石英鐘罩和加熱烘箱升降全自動。
真空度可以達到1×10-1 Pa
加熱溫度≤600 ℃
溫度誤差±2℃